羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能，同時(shí)在中真空范圍也有較強(qiáng)的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級(jí)機(jī)組的高真空機(jī)組。具體地講由于分子增壓泵耐壓高，上海電動(dòng)真空泵，上海電動(dòng)真空泵，上海電動(dòng)真空泵，所以可使前級(jí)泵易于處于高流量狀態(tài)；而分子增壓泵吸入壓力高，減緩了前級(jí)泵的預(yù)抽負(fù)擔(dān)。這樣可以使系統(tǒng)盡快地進(jìn)入工作壓力，保證了設(shè)備的使用效率。真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭。上海電動(dòng)真空泵

真空泵的工作壓力應(yīng)該滿足工藝工作壓力要求，選型時(shí)真空度要高于真空設(shè)備真空度的半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。(如：真空工藝要求100pa(壓力)的真空度，選用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求壓強(qiáng)高于3300Pa，則優(yōu)先選擇水環(huán)式真空泵作為真空裝置，如果壓強(qiáng)要求低于3300Pa，則不能選擇水環(huán)式真空泵，選擇旋片式真空泵或更高真空級(jí)別的真空泵作為真空獲得裝置。真空泵要求抽氣速率(也就是要求真空泵在其工作壓力下，排出氣體、液體，固體的能力)，一般單位：m3/h，L/S，m3/min。具體計(jì)算方法可以參考下面公式自行計(jì)算選型。當(dāng)然，真空泵的選型是一個(gè)綜合過(guò)程，涉及到相關(guān)經(jīng)驗(yàn)等因素。上海干式螺桿真空泵微型真空泵的介質(zhì)溫度問(wèn)題。根據(jù)通過(guò)泵的介質(zhì)氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。

在真空泵選型前，我們必須弄清楚幾個(gè)基礎(chǔ)概念：真空，理論上是指容積里面不含有任何的物質(zhì)。（現(xiàn)實(shí)中是不存在真正的真空的）通常把容器內(nèi)氣壓低于正常大氣壓（101325 Pa）的都稱之為真空狀態(tài)。真空度表示處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用壓力值來(lái)表示。實(shí)際應(yīng)用中，真空度，通常有真空和相對(duì)真空兩種說(shuō)法。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。真空度數(shù)值是表示出系統(tǒng)壓強(qiáng)實(shí)際數(shù)值低于大氣壓強(qiáng)的數(shù)值，從表上表示出來(lái)的數(shù)值又稱為表壓強(qiáng)，業(yè)界也稱為極限相對(duì)壓強(qiáng)，即： 真空度=大氣壓強(qiáng)-壓強(qiáng)(大氣壓強(qiáng)一般取101325Pa，水環(huán)式真空泵極限壓強(qiáng)3300Pa；旋片式真空泵極限壓強(qiáng)約10Pa)。

歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速?gòu)?0m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國(guó)應(yīng)大力研究開(kāi)發(fā)干泵，使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。往復(fù)真空泵活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng)，此時(shí)吸氣閥關(guān)閉。

羅茨真空泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡。分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。當(dāng)真空泵中的葉輪順時(shí)針?lè)较蛐�轉(zhuǎn)時(shí)，由于離心力的作用，形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的封閉圓環(huán)。上海干式螺桿真空泵

水環(huán)真空泵中氣體壓縮是等溫的，可抽除易燃、易爆的氣體。上海電動(dòng)真空泵

便攜式真空泵其工作原理同微型真空泵工作原理相同，都是電機(jī)的圓周運(yùn)動(dòng)，通過(guò)機(jī)械裝置使泵內(nèi)部的隔膜做往復(fù)式運(yùn)動(dòng)，從而對(duì)固定容積的泵腔內(nèi)的空氣進(jìn)行壓縮、拉伸形成真空（負(fù)壓），在泵抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再?gòu)呐艢饪谂懦�。正因�(yàn)槌闅饪谔幓蛘叱榕艢饪诳梢耘c外界大氣形成壓力差，同時(shí)不像大型真空泵需要潤(rùn)滑油和真空泵油，不會(huì)污染工作介質(zhì)，而且具有體積小巧、噪音低、免維護(hù)，可以連續(xù)24小時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)等優(yōu)點(diǎn)，上海電動(dòng)真空泵

日東工器省力機(jī)器貿(mào)易（上海）有限公司是以提供快速接頭，電動(dòng)螺絲刀，機(jī)械工具，泵為主的有限責(zé)任公司，公司始建于2012-08-08，在全國(guó)各個(gè)地區(qū)建立了良好的商貿(mào)渠道和技術(shù)協(xié)作關(guān)系。公司承擔(dān)并建設(shè)完成五金、工具多項(xiàng)重點(diǎn)項(xiàng)目，取得了明顯的社會(huì)和經(jīng)濟(jì)效益。產(chǎn)品已銷往多個(gè)國(guó)家和地區(qū)，被國(guó)內(nèi)外眾多企業(yè)和客戶所認(rèn)可。