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來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-11-15

    在半導(dǎo)體行業(yè),晶圓是用光刻技術(shù)制造和操作的。蝕刻是這一過程的主要部分,在這一過程中,材料可以被分層到一個(gè)非常具體的厚度。當(dāng)這些層在晶圓表面被蝕刻時(shí),等離子體監(jiān)測被用來跟蹤晶圓層的蝕刻,并確定等離子體何時(shí)完全蝕刻了一個(gè)特定的層并到達(dá)下一個(gè)層。通過監(jiān)測等離子體在蝕刻過程中產(chǎn)生的發(fā)射線,可以精確跟蹤蝕刻過程。這種終點(diǎn)檢測對于使用基于等離子體的蝕刻工藝的半導(dǎo)體材料生產(chǎn)至關(guān)重要。等離子體是一種被激發(fā)的、類似氣體的狀態(tài),其中一部分原子已經(jīng)被激發(fā)或電離,形成自由電子和離子。當(dāng)被激發(fā)的中性原子的電子返回到基態(tài)時(shí),等離子體中存在的原子就會(huì)發(fā)射特有波長的輻射光,其光譜圖可用來確定等離子體的組成。等離子體是用一系列高能方法使原子電離而形成的,包括熱、高能激光、微波、電和無線電頻率。等離子體有一系列的應(yīng)用,包括元素分析、薄膜沉積、等離子體蝕刻和表面清潔。通過對等離子體樣品的發(fā)射光譜進(jìn)行監(jiān)測,可以為樣品提供詳細(xì)的元素分析,并能夠確定控制基于等離子體的過程所需的關(guān)鍵等離子體參數(shù)。發(fā)射線的波長被用來識(shí)別等離子體中存在的元素,發(fā)射線的強(qiáng)度被用來實(shí)時(shí)量化粒子和電子密度,以便進(jìn)行工藝控制。 火焰石墨爐一體式原子吸收,AAS系列原子吸收分光光度計(jì)是由天瑞儀器公司集多年光譜研發(fā)經(jīng)驗(yàn)。上海火花直讀光譜儀光譜儀

危廢重金屬檢測儀,固廢重金屬測試儀,X熒光光譜儀EDX1800BS,技術(shù)參數(shù)元素分析范圍:磷(P)~鈾(U)檢出限:1ppm分析含量:ppm~99.99%任意多個(gè)可選擇的分析和識(shí)別模型相互獨(dú)立的基體效應(yīng)校正模型多變量非線性回歸程序環(huán)境溫度:15℃~30℃電源:交流220V±5V,建議配置交流凈化穩(wěn)壓電源能量分辨率:144±5eV樣品腔尺寸:439mm×300mm×50mm儀器尺寸:550mm×410mm×320mm儀器重量:45kg。

蘇州安鉑瑞科學(xué)儀器一直致力于為客戶提供解決方案。 湖北火焰原子發(fā)射光譜儀廠家主要代理和經(jīng)營:氣質(zhì)聯(lián)用儀,液質(zhì)聯(lián)用,ICP電感耦合等離子發(fā)射光譜儀,ICP-MS,X射線分析儀。

鉆石快速鑒定儀,用途:基于光譜測量原理,有效針對天然鉆石(Ia型,無色-淺黃色系列)進(jìn)行快速篩查,可將合成鉆石(CVD、HTHP)和其他鉆石仿制品區(qū)分出來;儀器小巧便攜,適應(yīng)不同場所測試。設(shè)備性能、技術(shù)要求及技術(shù)參數(shù):1)適用范圍:無色或近無色鉆石;2)檢測范圍:0.01-10克拉,裸鉆或鑲嵌鉆石;3)判定依據(jù):測量鉆石N3色心吸收光譜;4)結(jié)果判定:軟件智能判別;含N3色心鉆石通過,其他鉆石(合成鉆石和仿鉆)不通過;測試結(jié)果以圖譜和語音方式輸出,圖譜可保存導(dǎo)出;5)通過率:98%以上;6)測試時(shí)間:單次100毫秒以內(nèi),可連續(xù)測試;7)測試方式:反射測量;光纖探頭內(nèi)置固定,并可取出手持測試;8)儀器一體化設(shè)計(jì)(自帶樣品臺(tái)、校準(zhǔn)模塊、光纖固定裝置和測試和監(jiān)視模塊),無需外接設(shè)備或附件,小巧便攜;

固定道波長能量色散X熒光光譜儀,WDX-400型多道X射線熒光光譜儀可配置10個(gè)固定分光道,同時(shí)分析10種元素。根據(jù)用戶的應(yīng)用要求可配置為從Na到U任意十種元素。標(biāo)準(zhǔn)配置為Na、Mg、Al、Si、S、Cl、K、Ca、Fe、P或Ti(可選)十種元素,是大中型企業(yè)質(zhì)量控制的理想選擇。粉體樣品或塊樣品快速,非破損分析??煽焖俜治龇勰浩A燮蛪K狀物料。采用多路數(shù)字MCA實(shí)時(shí)檢測,**提高元素檢測效率譜峰,不僅便于儀器調(diào)試和故障診斷,并可進(jìn)一步提高儀器的分析精度和穩(wěn)定性。配置充氦裝置后可以分析液體樣品或易揮發(fā)性固體樣品。與順序型大功率儀器相比較有如下優(yōu)點(diǎn):a、在較小功率和測定時(shí)間基本相當(dāng)?shù)那闆r下即可達(dá)到足夠的分析精度。b、延長X光管使用壽命。c、減少高壓電源故障。d、降低整機(jī)維修成本。e、采用固定通道,無測角儀磨損問題。(火花)光電直讀光譜儀OES1000(貴金屬**) 火花光電直讀光譜儀特別適用于測定黃金產(chǎn)品中微量元素的含量。

蘇州安鉑瑞科學(xué)儀器有限公司,ICP-MS分析NMP介質(zhì)中的超痕量雜質(zhì),ICP-MS采用PerkinElmer通用池技術(shù),進(jìn)一步強(qiáng)化動(dòng)態(tài)反應(yīng)池功能,在與存在碰撞除干擾技術(shù)局限而不得不應(yīng)用冷等離子體的競爭公司的單四極桿ICP-MS或在有機(jī)物分析方面有局限的三重四極桿質(zhì)譜儀ICP-MS相比有明顯優(yōu)勢,不僅能檢測金屬元素,還能檢測非金屬元素。PerkinElmer的UCT-ICP-MS采用動(dòng)態(tài)反應(yīng)池技術(shù),在所有元素分析中都使用熱等離子體,測試有機(jī)樣品時(shí)更有優(yōu)勢,可以輕松獲得穩(wěn)定、可信的結(jié)果。蘇州安鉑瑞做分析檢測解決方案提供者。固定道波長能量色散X熒光光譜儀, WDX-400型多道X射線熒光光譜儀可配置10個(gè)固定分光道,同時(shí)分析10種元素。湖北全譜直讀光譜儀多少錢一臺(tái)

火花全譜直讀光譜儀OES8000s采用CMOS檢測器全譜測試技術(shù),可測試覆蓋波長范圍內(nèi)的所有譜線。上?;鸹ㄖ弊x光譜儀光譜儀

火花全譜直讀光譜儀,火花全譜直讀光譜儀OES8000s采用CMOS檢測器全譜測試技術(shù),可測試覆蓋波長范圍內(nèi)的所有譜線,配置和補(bǔ)充測試基體、通道、分析程序極為方便。儀器體積小巧,方便維護(hù)和實(shí)驗(yàn)室放置。OES8000s是測試鋼鐵和有色金屬材料元素的通用型儀器,可以滿足包括:Fe基體、Cu基體、Al基體、Ti基體、Pb基體、Mg基體、Co基體等基體要求,是金屬元素分析的較推薦擇。全譜分析技術(shù),方便配置更多基體和元素,方便在用戶現(xiàn)場補(bǔ)充配置儀器體積小巧,對實(shí)驗(yàn)室空間要求低工作時(shí)間長,具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可靠性樣品測試速度快,單次測試過程少于40秒儀器使用和維護(hù)簡單、方便,對人員專業(yè)要求低原廠安裝分析程序,測試數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。上?;鸹ㄖ弊x光譜儀光譜儀