氦質譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機時間2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現泄漏，可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發(fā)現漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.氦質譜檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或灑在氦質譜檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦質譜檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣。常州分體式氦質譜檢漏儀價格
選擇氦質譜檢漏儀檢漏方法的原則：1、主要根據被檢漏設備的允許漏率為依據，由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現。為找到一個單個漏孔，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數量級。如一個設備的允許漏率為10-11w，而必須選用的氦質譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據具體被檢對象，所用方法簡便易行，經濟實用。為保證測試漏率真實有效：（1）標準漏孔每年送有專業(yè)資質計量單位計量；（2）使用兩年以上建議更換標準漏孔。南京推車式氦質譜檢漏儀原理氦質譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。
提高氦質譜檢漏儀靈敏度方法：1、盡量開大節(jié)流閥。2、盡量減小外接泵對工件的分流或采用不分流檢漏(當工件抽上真空后，關閉工件與外接泵之間的閥門)。3、將工件用塑料袋包扎，袋內再充入氦氣，(但此法不能測出具體漏點)。4、使用液氮，全開節(jié)流閥，采用不分流檢漏，必要時可將抽速閥關小。氦質譜檢漏儀日常維護：1、定期更換燈絲，清洗冷規(guī)。2、定期更換機械泵油，適時對機械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質譜檢漏儀部件后，安裝時要避免安裝處出現泄漏。5、適時對氦質譜檢漏儀可能出現的泄漏處(如放氣閥)進行清洗，排除漏點。
氦檢儀開機如何操作？1、將總電源轉到“前級泵”，低真空表頭指示值應從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關，表頭示值也應能抽到原來位置，再關抽速閥。2、將總電源轉到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應熱，開冷規(guī)開關，“質譜室壓強”表頭指針應從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達要求后關漏孔。將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關節(jié)流閥。有些國家生產的氦檢儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果。
氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法？氦檢儀的實際應用方案很多，常用的三種檢漏方法有負壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法），可以發(fā)現有不同的叫法，這是根據不同的檢測方式命名的。采用什么方法要視被檢件的結構、檢漏的經濟效益及檢漏系統(tǒng)的性質來決定。根據不同的檢漏目的，常用基礎的有3種檢漏方法。負壓法（噴氦法）。對被檢工件抽真空?？蓪Ρ粰z工件外可疑漏點噴氦，也可將工件罩起來對氦罩內噴氦?？筛鶕ぜ莘e大小選配輔助泵或不加輔助泵?？蓹z測工件的具體漏點和準確漏率。檢測精度高。適用行業(yè)：鍍膜行業(yè)，真空爐，真空配件，真空閥門，壓力容器，真空系統(tǒng)等。氦檢儀檢漏范圍寬：不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。溫州自動氦質譜檢漏儀供應廠家
氨質譜檢漏儀在許多領域里得到普遍的應用。常州分體式氦質譜檢漏儀價格
氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到只對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。常州分體式氦質譜檢漏儀價格