吳江區(qū)通用雙頻激光干涉儀哪家好

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-15

按照干涉光來源區(qū)分干涉儀可以分成波前分解和幅度分解兩類, 其差異在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。 例如楊氏雙縫干涉即屬于波前分解干涉儀(鐘錫華, 陳熙謀, 2002) [3]; 而等傾干涉和等厚干涉即為幅度分解干涉儀。干涉儀的應(yīng)用極為***,主要有如下幾方面:長(zhǎng)度測(cè)量在雙光束干涉儀中,若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定,則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成,根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長(zhǎng)度的精確比較或***測(cè)量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀**涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長(zhǎng)表示國(guó)際米。接受信號(hào)為交流信號(hào),前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器,不用直流放大,故沒有零點(diǎn)漂移等問題。吳江區(qū)通用雙頻激光干涉儀哪家好

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干涉儀是一種使用干涉測(cè)量技術(shù)的光學(xué)計(jì)量?jī)x器,其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息,從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。以下是對(duì)干涉儀的詳細(xì)介紹:一、基本原理具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化,從而可以通過測(cè)量較容易測(cè)量的振幅來獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù),這種幅度的變化有時(shí)候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋,即干涉條紋?;緲?gòu)成干涉儀一般由光源、分束器、反射鏡、干涉屏(或檢測(cè)器)等組成。光源發(fā)出的光經(jīng)過分束器被分成兩束,分別經(jīng)由反射鏡反射回來,并在干涉屏(或檢測(cè)器)上產(chǎn)生干涉圖樣。其中,各元件的功能如下:吳江區(qū)通用雙頻激光干涉儀哪家好雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀擺脫了計(jì)量室的束縛,更為廣泛的應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中。

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這路光束和由固定反射鏡反射回來*含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會(huì)合成為f1-(f2±Δf)的測(cè)量光束。測(cè)量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號(hào)。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后,由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算(乘 1/2激光波長(zhǎng))后即可得出可動(dòng)反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來測(cè)量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件,還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量和小角度測(cè)量。

機(jī)床與加工設(shè)備:應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、磨床、鏜床、加工中心等設(shè)備的定位系統(tǒng)校準(zhǔn)及誤差修正,以提升加工精度。集成電路制造:支持半導(dǎo)體光刻技術(shù)的工件臺(tái)的精密定位。物理實(shí)驗(yàn):測(cè)量位移、速度、加速度等動(dòng)力學(xué)參數(shù)。在線監(jiān)測(cè)控制:在大規(guī)模集成電路加工設(shè)備、精密機(jī)床中實(shí)現(xiàn)誤差的在線測(cè)量,以提升生產(chǎn)穩(wěn)定性。檢測(cè)儀器校準(zhǔn):用于線性位移傳感器、角度傳感器、直線度檢測(cè)儀等幾何檢測(cè)儀器的標(biāo)定。雙頻激光干涉儀憑借其高精度、強(qiáng)環(huán)境適應(yīng)力、高實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)速以及廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,在精密制造、科研創(chuàng)新以及標(biāo)準(zhǔn)化檢測(cè)等方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長(zhǎng)度很大,干涉儀的測(cè)量范圍可以擴(kuò)展;

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另一方面,當(dāng)可動(dòng)棱鏡移動(dòng)時(shí),前者的干涉信號(hào)是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號(hào),而后者的干涉信號(hào)是使原有的交流信號(hào)頻率增加或減少了△f,結(jié)果依然是一個(gè)交流信號(hào)。因而對(duì)于雙頻激光干涉儀來說,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大,這樣,即使光強(qiáng)衰減90%,依然可以得到合適的電信號(hào)。精度高雙頻激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級(jí),細(xì)分后更可達(dá)到nm量級(jí)。應(yīng)用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長(zhǎng)度的精密測(cè)量外,配上適當(dāng)?shù)母郊€可測(cè)量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等等法布里-干涉儀:由查爾斯·法布里和阿爾弗雷德·佩羅發(fā)明,主要用于高精度的光譜分析。吳江區(qū)通用雙頻激光干涉儀哪家好

通過分析干涉條紋的變化,可以得到被測(cè)物體的位移信息。吳江區(qū)通用雙頻激光干涉儀哪家好

檢驗(yàn)光學(xué)元件泰曼干涉儀被普遍用來檢驗(yàn)平板、棱鏡和透鏡等光學(xué)元件的質(zhì)量。在泰曼干涉儀的一個(gè)光路中放置待檢查的平板或棱鏡,平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡,可根據(jù)干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變,從而評(píng)估透鏡的波像差。引力波測(cè)量干涉儀也可以用于引力波探測(cè)(Saulson, 1994) [4]。 激光干涉儀引力波探測(cè)器的概念是前蘇聯(lián)科學(xué)家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的(Gertsenshtein和Pustovoit 1962) [5]。 1969年美國(guó)科學(xué)家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實(shí)驗(yàn)室建造初步的試驗(yàn)系統(tǒng)(Weiss 1972) [6]吳江區(qū)通用雙頻激光干涉儀哪家好

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