黃浦區(qū)C1902X205Y16分子泵軸承

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-13

成本控制優(yōu)勢(shì):國(guó)產(chǎn)化與規(guī)模效應(yīng)雙驅(qū)動(dòng),新巴頓通過(guò)整合國(guó)內(nèi)高質(zhì)供應(yīng)鏈,實(shí)現(xiàn)陶瓷球(圓度誤差<0.05μm)和軸承鋼(氧含量<8ppm)的國(guó)產(chǎn)化替代,相比進(jìn)口產(chǎn)品,成本降低了 35% 。同時(shí),憑借規(guī)?;a(chǎn)優(yōu)勢(shì),進(jìn)一步攤薄生產(chǎn)成本。在保持 Dm?N 值(1.6×10?mm?r/min)等主要性能指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平的前提下,產(chǎn)品價(jià)格更具競(jìng)爭(zhēng)力。某國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造商采用新巴頓軸承后,單臺(tái)分子泵系統(tǒng)的成本降低了 18 萬(wàn)元,國(guó)產(chǎn)化率從 25% 提升至 85%,有效推動(dòng)了國(guó)內(nèi)真空設(shè)備行業(yè)的自主發(fā)展。專業(yè)潤(rùn)滑脂選型,新巴頓分子泵軸承精確匹配機(jī)械不同工況需求。黃浦區(qū)C1902X205Y16分子泵軸承

分子泵軸承

某 12 英寸晶圓廠的刻蝕機(jī)配備 4 臺(tái) 2000L/s 分子泵,原采用進(jìn)口鋼制軸承,平均每 6 個(gè)月因碳化硅顆粒污染導(dǎo)致軸承失效。新巴頓為其定制的 Si?N?陶瓷軸承,配合迷宮式密封結(jié)構(gòu),使軸承壽命延長(zhǎng)至 24 個(gè)月。該方案的重心在于:陶瓷球的硬度(HRC78-80)高于碳化硅顆粒,可減少磨粒磨損;密封唇口采用氟橡膠材質(zhì),在 150℃工況下仍保持彈性,阻止微粒侵入。改造后,該產(chǎn)線的非計(jì)劃停機(jī)率從 8% 降至 1%,年節(jié)約維護(hù)成本 120 萬(wàn)元。此外,公司為某 MOCVD 設(shè)備配套的軸承,通過(guò)在保持架中嵌入石墨自潤(rùn)滑塊,解決了金屬有機(jī)化合物沉積導(dǎo)致的軸承卡死問(wèn)題,使設(shè)備連續(xù)運(yùn)行時(shí)間突破 10000 小時(shí)。無(wú)錫VAC625AC001分子泵軸承巴頓分子泵軸承:低噪音,營(yíng)造安靜環(huán)境。

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推力圓柱滾子軸承的軸向定位技術(shù)分子泵轉(zhuǎn)子的軸向定位精度要求通常在 5-10μm,新巴頓的 81100 系列推力圓柱滾子軸承采用研磨級(jí)推力墊圈,其平行度誤差≤1μm,配合軸向預(yù)緊彈簧,可將轉(zhuǎn)子軸向竄動(dòng)量控制在 3μm 以內(nèi)。在某電子束蒸發(fā)設(shè)備中,該軸承與徑向支撐軸承形成剛性定位系統(tǒng),確保蒸發(fā)源與基片的間距波動(dòng)不超過(guò) 5nm,滿足光學(xué)薄膜厚度的精密控制需求。軸承的滾子端面采用圓弧修形(曲率半徑 50mm),避免邊緣接觸導(dǎo)致的應(yīng)力集中,使軸向載荷均勻分布。

針對(duì)機(jī)械行業(yè)可能面臨的沖擊工況(如真空泵啟停、機(jī)械碰撞),新巴頓分子泵軸承強(qiáng)化了抗沖擊設(shè)計(jì)。軸承滾道采用大圓角過(guò)渡(圓角半徑 R1.5-2.0mm),降低應(yīng)力集中系數(shù)至 1.8 以下;滾子材料選用貝氏體淬火鋼,沖擊韌性≥30J/cm2,可承受 1000G(1G=9.8m/s2)的瞬時(shí)沖擊載荷。在包裝機(jī)械的真空抓取裝置中,當(dāng)吸盤突然吸附重物時(shí),軸承的抗沖擊設(shè)計(jì)可避免滾子斷裂或滾道壓痕,維持機(jī)械動(dòng)作的連續(xù)性。通過(guò)落錘沖擊試驗(yàn)(錘頭質(zhì)量 1kg,落差 1m)測(cè)試,軸承在承受沖擊后,徑向游隙變化≤5%,振動(dòng)頻譜無(wú)異常峰值,證明其在機(jī)械沖擊工況下的可靠性。巴頓分子泵軸承——新能源領(lǐng)域的方案。

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在磁懸浮分子泵系統(tǒng)中,新巴頓的磁浮備用軸承發(fā)揮著安全保障作用。當(dāng)磁懸浮系統(tǒng)斷電時(shí),備用軸承需在 0.1 秒內(nèi)承接轉(zhuǎn)子載荷,避免高速轉(zhuǎn)子墜落損壞。公司設(shè)計(jì)的圓錐滾子備用軸承,采用淬火后 HRC62-64 的滲碳軸承鋼,配合凸度修形技術(shù),可承受瞬間高達(dá) 100g 的沖擊載荷。其與磁浮軸承的間隙控制在 0.1-0.2mm,既保證磁浮運(yùn)行時(shí)的無(wú)接觸狀態(tài),又確保斷電時(shí)的可靠承接。某科研用高真空系統(tǒng)采用該方案后,成功通過(guò) 1000 次斷電測(cè)試,軸承未出現(xiàn)任何塑性變形,滿足 ISO 16890 標(biāo)準(zhǔn)的嚴(yán)苛要求。巴頓分子泵軸承:創(chuàng)新設(shè)計(jì),降低振動(dòng)。A540ZA分子泵軸承供應(yīng)

巴頓分子泵軸承:醫(yī)療器械中的關(guān)鍵組件。黃浦區(qū)C1902X205Y16分子泵軸承

新巴頓為分子泵軸承提供專業(yè)安裝工具,提升機(jī)械裝配效率與精度。液壓螺母(型號(hào) BARDUN-HN-01)可精確控制軸向預(yù)緊力(精度 ±2%),配合扭矩扳手(量程 5-50N?m),避免人工擰緊導(dǎo)致的預(yù)緊力不均;加熱線圈(頻率 20-40kHz)可在 3 分鐘內(nèi)將軸承加熱至 100℃,溫差≤5℃,確保熱裝時(shí)的均勻膨脹。在自動(dòng)化生產(chǎn)線中,這些工具與機(jī)器人裝配系統(tǒng)集成,實(shí)現(xiàn)軸承安裝的全自動(dòng)化,單套軸承的裝配時(shí)間從 15 分鐘縮短至 3 分鐘,且安裝合格率達(dá) 100%。專業(yè)工具的使用減少了機(jī)械裝配中的人為誤差,保障分子泵軸承的安裝精度與可靠性。黃浦區(qū)C1902X205Y16分子泵軸承