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來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-06

電子探針分析是指以聚焦的高速電子來激發(fā)出試樣表面組成元素的特征X射線,對微區(qū)成分進(jìn)行定性或定量分析的一種材料物理試驗(yàn),又稱電子探針X射線顯微分析。電子探針分析的原理是:以動能為10~30千電子伏的細(xì)聚焦電子束轟擊試樣表面,擊出表面組成元素的原子內(nèi)層電子,使原子電離,此時(shí)外層電子迅速填補(bǔ)空位而釋放能量,從而產(chǎn)生特征X射線。電子探針的功能主要是進(jìn)行微區(qū)成分分析。它是在電子光學(xué)和X射線光譜學(xué)原理的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種高效率分析儀器。其原理是用細(xì)聚焦電子束入射樣品表面,激發(fā)出樣品元素的特征x射線,分析特征X射線的波長(或特征能量)即可知道樣品中所含元素的種類(定性分析),分析X射線的強(qiáng)度,則可知道樣品中對應(yīng)元素含量的多少(定量分析)。把電子顯微鏡和電子探針結(jié)合,可把在顯微鏡下觀察到的顯微組織和元素成分聯(lián)系起來。閔行區(qū)品牌探針銷售廠家

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該系統(tǒng)為電子探針分析提供具有足夠高的入射能量,足夠大的束流和在樣品表面轟擊殿處束斑直徑近可能小的電子束,作為X射線的激發(fā)源。為此,一般也采用鎢絲熱發(fā)射電子槍和2-3個(gè)聚光鏡的結(jié)構(gòu)。 為了提高X射線的信號強(qiáng)度,電子探針必須采用較掃描電鏡更高的入射電子束流(在10-9-10-7A范圍),常用的加速電壓為10-30 KV,束斑直徑約為0.5μm。電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學(xué)顯微鏡。它的作用是選擇和確定分析點(diǎn)。其方法是,先利用能發(fā)出熒光的材料(如ZrO2)置于電子束轟擊下,這是就能觀察到電子束轟擊點(diǎn)的位置,通過樣品移動裝置把它調(diào)到光學(xué)顯微鏡目鏡十字線交叉點(diǎn)上,這樣就能保證電子束正好轟擊在分析點(diǎn)上,同時(shí)也保證了分析點(diǎn)處于X射線分光譜儀的正確位置上。在電子探針上大多使用的光學(xué)顯微鏡是同軸反射式物鏡,其優(yōu)點(diǎn)是光學(xué)觀察和X射線分析可同時(shí)進(jìn)行。放大倍數(shù)為100-500倍。閔行區(qū)品牌探針銷售廠家由分光晶體所分散的單一波長X射線被X射線檢測器接受,常用的檢測器一般是正比計(jì)數(shù)器。

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電子探針X射線顯微分析儀(簡稱電子探針)利用約1Pm的細(xì)焦電子束,在樣品表層微區(qū)內(nèi)激發(fā)元素的特征X射線,根據(jù)特征X射線的波長和強(qiáng)度,進(jìn)行微區(qū)化學(xué)成分定性或定量分析。電子探針的光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等部分與掃描電鏡基本相同,通常也配有二次電子和背散射電子信號檢測器,同時(shí)兼有組織形貌和微區(qū)成分分析兩方面的功能。電子探針的構(gòu)成除了與掃描電鏡結(jié)構(gòu)相似的主機(jī)系統(tǒng)以外,還主要包括分光系統(tǒng)、檢測系統(tǒng)等部分。電子探針主要由電子光學(xué)系統(tǒng)(鏡筒),X射線譜儀和信息記錄顯示系統(tǒng)組成。電子探針和掃描電鏡在電子光學(xué)系統(tǒng)的構(gòu)造基本相同,它們常常組合成單一的儀器。

2)X射線能譜分析法。無須分析晶體,而直接將探測器接收的訊號加以放大,進(jìn)行脈沖幅度分析,通過選擇不同的脈沖幅度來確定入射x射線的能量,從而區(qū)分不同的特征X射線。計(jì)算時(shí)應(yīng)用布拉格方程:nλ=2dsinθ。 [2]1、能進(jìn)行微區(qū)分析。可分析數(shù)個(gè)μm3內(nèi)元素的成分。2、能進(jìn)行現(xiàn)場分析。無需把分析對象從樣品中取出,可直接對大塊試樣中的微小區(qū)域進(jìn)行分析。把電子顯微鏡和電子探針結(jié)合,可把在顯微鏡下觀察到的顯微組織和元素成分聯(lián)系起來。3、分析范圍廣。Z>4其中,波譜:Be~U,能譜:Na~U。電子探針又稱微區(qū)X射線光譜分析儀、X射線顯微分析儀。

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細(xì)菌的基因組大小約5×106bp,約含3000個(gè)基因。各種細(xì)菌之間絕大部分DNA是相同的,要獲得某細(xì)菌特異的核酸探針,通常要采取建立細(xì)菌基因組DNA文庫的辦法,即將細(xì)菌DNA切成小片段后分別克隆得到包含基因組的全信息的克隆庫。然后用多種其它菌種的DNA作探針來篩選,產(chǎn)生雜交信號的克隆被剔除,***剩下的不與任何其它細(xì)菌雜交的克隆則可能含有該細(xì)菌特異性DNA片段。將此重組質(zhì)粒標(biāo)記后作探針進(jìn)一步鑒定,亦可經(jīng)DNA序列分析鑒定其基因來源和功能。因此要得到一種特異性DNA探針,常常是比較繁瑣的。探針卡應(yīng)用在IC尚未封裝前,針對裸晶系以探針做功能測試,篩選出不良品、再進(jìn)行之后的封裝工程。閔行區(qū)品牌探針銷售廠家

分析對象是固體物質(zhì)表面細(xì)小顆?;蛭⑿^(qū)域,小范圍直徑為1μm。閔行區(qū)品牌探針銷售廠家

3 面分析用于測定某種元素的面分布情況。方法是將X射線譜儀固定在所要測量的某元素特征X射線信號的位置上,電子束在樣品表面做光柵掃描,此時(shí)在熒光屏上便可看到該元素的面分布圖像。顯像管的亮度由試樣給出的X射線強(qiáng)度調(diào)制。圖像中的亮區(qū)表示這種元素的含量較高。定量分析定量分析時(shí),先測得試樣中Y元素的特征X射線強(qiáng)度IY,再在同一條件下測出已知純元素Y的標(biāo)準(zhǔn)試樣特征X射線強(qiáng)度IO。然后兩者分別扣除背底和計(jì)數(shù)器死時(shí)間對所測值的影響,得到相應(yīng)的強(qiáng)度值IY和IO,兩者相除得到X射線強(qiáng)度之比KY= IY / IO。 直接將測得的強(qiáng)度比KY當(dāng)作試樣中元素Y的重量濃度,其結(jié)果還有很大誤差,通常還需進(jìn)行三種效應(yīng)的修正。即原子序數(shù)效應(yīng)的修正,吸收效應(yīng)修正,熒光效應(yīng)修正。經(jīng)過修正,誤差可控制在±2%以內(nèi)。閔行區(qū)品牌探針銷售廠家

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